Soft Matter Nanofab 上科大-物质学院-软物质微纳加工实验室

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6英寸手动探针台

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氦离子-聚焦离子束显微镜

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六寸水冷基底10kW电子束沉积系统

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薄膜材料制备平台-2号磁控溅射薄膜沉积系统

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氧化物原子层沉积系统

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