具有宽广的可加工光敏材料选择的自由度,包含:SU-8, Ormocere, PEG-DA, AZ系列, As2S3, IP-L 780, IP-G 780等；最小线宽200纳米，最小分辨率500纳米；振镜扫描模式最高写入速度达10mm/sec以上

使用双光子聚合原理实现三维的光刻胶打印。加工模式有两种，包括纳米位移台以及振镜扫描。

飞秒激光器：脉宽≦120fs； 重复率：80MHz±1MHz；平均输出功率＞120mW。压电陶瓷三维扫描平台(X-Y-Z)：移动分辨率≤1nm，重复精度误差≤±10 nm. 扫描空间≥300µm×300µm×300µm。X, Y长行程工件台, 加工面积：≥100×100 mm², 重复精度误差≤±1.5 µm。