仪器设备
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台阶仪
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陆盛楠
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接触角测量仪
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薄膜材料制备平台
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微控楔键合机
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张超
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物质学院7号楼软纳米中心器件测试间
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膜厚分析系统
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高珍
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半导体器件分析仪
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张超
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物质学院7号楼软纳米中心器件测试间
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原子力显微镜
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陆盛楠
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物质学院7号楼108器件测试间
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快速热处理系统
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张超
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物质学院7号楼软纳米中心薄膜3区
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等离子体增强化学气相沉积仪
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何金金, 张艳
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刻蚀间刻蚀间
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晶圆切割机
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张超, 何金金
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