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联系人
张艳
邮箱
zhangyan@shanghaitech.edu.cn
电话
20684687
购买日期
2018/12/27
主要规格和技术参数
可使用于碎片、小片、4 寸及 6 寸的样品。不同尺寸样品配备不同尺寸的吸盘。
主要功能及特色
旋涂仪搭配真空泵一起使用，可将光刻胶涂抹于基片上，并保证胶体厚度的一致性和均匀性。
主要附件及配置
真空泵，硅片定位杆，透明胶圈