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六寸水冷基底10kW电子束沉积系统
六寸水冷基底10kW电子束沉积系统 预约   送样
联系人
陆盛楠
邮箱
lushn@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20684692
购买日期
2020/07/11
主要规格和技术参数
Lesker ProlinePVD75 1号电子束沉积系统主要是用来各种金属薄膜材料的沉积，同时还可以设定多种工艺参数来满足实验要求。 极限真空：4x10-8 Torr
主要功能及特色
目前提供的源有：Ti、Al、Pd、Pt、Au、Cr、Cu
主要附件及配置
本设备配置有10KV电子束固体源，2台热蒸发电源，可升降样品台，晶振片控制沉积速率和膜厚