主要规格和技术参数
PLC全自动闭环控制:
沉积过程控制方式：
手动温度和压力控制
自动沉积压力闭环控制（只需要设定沉积压力，其它所有参数将自动跟随）
蒸发温度：室温℃ to 180℃
温度精度：±3℃
裂解温度：室温℃ to 720℃
温度降到：±5℃
规管温度：室温℃ to 135℃
温度精度：±3℃
系统真空度（冷机开启）：
系统空载极限真空度≤5mT
系统空载达到极限真空度的时间≤30分钟
蒸发室为不锈钢材料，装料容量不小于125g
冷机温度-90℃，到达-75℃合作温度时间≤30分钟
主要功能及特色
可沉积Parylene C或N薄膜
主要附件及配置
12”直径X12”高标准沉积室一个
12”直径X3”高小沉积室一个