氦离子-聚焦离子束显微镜
氦离子-聚焦离子束显微镜 预约   送样
联系人
高珍
邮箱
gaozhen@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20684649
购买日期
2018/10/12
主要规格和技术参数
将氦、氖以及镓离子3束离子束集成在一台设备上,以实现从um到nm的高分辨成像和纳米加工。最高成像分辨率0.5nm,亚10nm结构的精细加工。
主要功能及特色
采用氦离子束、镓离子束进行样品的刻蚀及三维重构;采用氦离子束进行Pt和W的沉积;对不导电样品成像时有荷电补偿功能。
主要附件及配置