仪器设备
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联系人 :
张艳
地址 :
物质学院7号楼黄光区
电话 :
20684687
无掩膜激光直写光刻系统
联系人 :
张艳
地址 :
物质学院7号楼黄光区
电话 :
20684687
薄膜应力测试设备
联系人 :
何金金, 高珍
地址 :
薄膜3区薄膜3区
电话 :
021-20684672
3D激光共聚焦显微镜
联系人 :
高珍
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物质学院7号楼108室薄膜三区
电话 :
021-20684649
六寸晶圆大尺寸光学显微镜
联系人 :
高珍
地址 :
物质学院7号楼108室黄光区
电话 :
021-20684649
二氟化氙气体刻蚀系统
联系人 :
张艳
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物质7号楼刻蚀区
电话 :
021-20684687
紫外曝光机
联系人 :
熊荣欣
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物质学院7号楼软纳米平台超净间黄光区
电话 :
021-20684670
纳米加工系统
联系人 :
陆盛楠
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物质学院7号楼108器件测试间
电话 :
021-20684692
临界点干燥仪
联系人 :
陆盛楠
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物质学院7号楼108薄膜2区
电话 :
021-20684692
真空烘箱
联系人 :
熊荣欣
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物质学院7号楼软纳米平台超净间黄光区
电话 :
021-20684670