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张艳
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无掩膜激光直写光刻系统
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物质学院7号楼黄光区
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薄膜应力测试设备
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3D激光共聚焦显微镜
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六寸晶圆大尺寸光学显微镜
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二氟化氙气体刻蚀系统
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紫外曝光机
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纳米加工系统
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临界点干燥仪
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真空烘箱
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