MJB4 紫外曝光机主要通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，目的是将制作在掩膜版上的图形复制到需要刻蚀和离子注入的样品上，从而完成光刻工艺。主要紫外光的波长为365nm及405nm。

样品托最大可放置4英寸晶圆，适用于碎片、1cm*1cm、2cm*2cm、2英寸以及4英寸的样品。掩膜版架最大可放置5寸掩膜版，最小要大于2英寸圆形。