X-Y 扫描范围（闭环）：大于95 μm×μm Z行程（闭环）：大于95 μm X-Y-Z 三个方向的步进精度（闭环）：1 nm 整体非线性（X-Y-Z三个方向）：≤0.1% 可重复精度：＜10 nm 扫描台X-Y 手动行程范围：25 mm× 25 mm Z轴步进马达行程：25 mm；双向重复精度（bidirectional repeatability）：0.75 μm；最大速度：2 mm/s X-Y平面内转动角度范围：±3.5°；角度分辨率：0.7μrad

聚合物纳米加工系统是基于扫描探针显微镜的纳米加工刻蚀技术，它利用锥形的弹性针尖阵列，以类似于“书写”的方式，将“墨水”分子转移到基底表面，在基底表面构造出任意的纳米图案，其刻蚀最小线宽可突破光的衍射极限（100 nm)，具有刻蚀面积大、产量高、成本低的优点，可广泛用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域。

扫描台 光学系统 噪音隔离附件 振动隔离系统 湿度和温度传感器 真空吸附的样品夹，可装样品尺寸大于40 mm× 20 mm