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二氟化氙气体刻蚀系统
二氟化氙气体刻蚀系统 预约   送样
联系人
张艳
邮箱
zhangyan@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20684687
购买日期
2020/04/20
主要规格和技术参数
适用于4寸、6寸、8寸晶圆，兼容小样品
主要功能及特色
干法刻蚀硅，释放悬臂梁结构
主要附件及配置
尼康显微镜