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六寸晶圆大尺寸光学显微镜
六寸晶圆大尺寸光学显微镜
预约
送样
联系人
高珍
邮箱
gaozhen@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20684649
购买日期
2020/07/17
主要规格和技术参数
分辨率350nm,配备5X-150X倍物镜。
主要功能及特色
表征样品表面形貌,明暗场、微分干涉差、偏光模式成像。全景拼图功能。
主要附件及配置