Soft Matter Nanofab 上科大-物质学院-软物质微纳加工实验室

等离子体增强化学气相沉积仪预约送样

联系人

何金金, 张艳

邮箱

hejj@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684672

购买日期

2016/11/08

主要规格和技术参数

最大可沉积晶圆8英寸；电极加热最高温度不低于400摄氏度；氮化硅薄膜最低应力不高于50MPa

主要功能及特色

能够沉积氧化硅、氮化硅、碳化硅以及多晶硅薄膜

主要附件及配置

配备CF4、N2O、N2、H2、NH3、10%SiH4/Ar、CH4、O2共8路气体；射频（13.56MHz）发生器功率不小于300瓦，并配有自动匹配网络单元