主要规格和技术参数
极限真空：6x10-8 Torr
Ar流量：0-20sccm
N2流量：0-100sccm
靶位和尺寸：4个15cc坩埚穴位,Ф30mm xФ22mm x22mm(圆台型)。
2个Thermal位。
冷泵抽速：1500L/S，腔体压强进入9x10-7Torr大约50min。
基底温度：25-800℃
主要功能及特色
金属材料蒸发镀膜，目前提供蒸发源有：Ag、Cu、Ti、Cr、Ni、Al、Pd、Au、Pt。
主要附件及配置
本设备配置6kV电子束电源柜，配备2个独立的Thermal蒸发电源。基片最高可加热到800摄氏度，兼容Ar电离清洗功能，并配置独立的偏压电源。