Cypher是唯一能够在闭环条件下实现原子级的分辨率; 同时 Cypher 又具有超快的扫描速度。主要技术参数如下:
X,Y轴:扫描范围30 μm;闭环噪音 <60pm(Adev,0.1Hz -1kHz)
Z轴:扫描范围 5μm ;闭环噪音 <50pm(Adev,0.1Hz -1kHz)
系统高度噪音 系统高度噪音 系统高度噪音 系统高度噪音 系统高度噪音 < 15pm< 15pm< 15pm< 15pm< 15pm< 15pm(Adev, Adev,Adev,Adev,1Hz1Hz -1kHz1kHz1kHz1kHz);
• 轻敲模式 (Tapping Mode )
• 接触模式 (Contact Mode AFM)
• 相位成像模式(Phase Imaging)
• 横向力显微镜 (Lateral Force Microscopy, LFM)
• 磁力显微镜(Magnetic Force Microscopy, MFM)
• 压电力显微镜( PFM mode)
• 扫描开尔文显微镜( SKPM)
• 静电力显微技术( EFM)
• 力曲线测试( ForceForceForce Force-curvecurvecurve curve)
• 力阵列测量(Force Volume Measurement)
• 纳米刻蚀 (Nanolithography)
独有专利技术 独有专利技术 独有专利技术 独有专利技术 独有专利技术
• 高次谐波成像模式( Dual AC Mode )
• 双频共振追踪压电模式
• 导电力原子显微镜(orca)
• 液下模式
• 扫描微波阻抗显微镜(SMIM)
等