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3D电子扫描显微镜
3D电子扫描显微镜
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马驰原, 杨津津
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室-1F
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18321183770
反应离子刻蚀机
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吴廷琪
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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减薄抛光系统
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室B1
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20684743
扫描电子显微镜
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王旭
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上海科技大学海科路99号1号楼量子器件中心1F洁净室风淋门出口
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双离子源刻蚀系统
双离子源刻蚀系统
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马驰原, 张雁冰
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上海科技大学海科路99号1号楼未分区1楼101净化室
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02120684626
投影数字光刻系统
投影数字光刻系统
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021-20684633
晶圆甩干机
晶圆甩干机
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王镜喆
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表面轮廓仪
表面轮廓仪
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王旭, 杨津津
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海科路99号1号楼 量子器件中心-无尘室1F
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打线机
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1.5M酸碱通风柜
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王镜喆
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