SQDL（已停用）

反应离子刻蚀机

反应离子刻蚀机预约送样

联系人

吴廷琪

邮箱

Wutq@shanghaitech.edu.cn

电话

购买日期

2021/06/21

主要规格和技术参数

可容纳8英寸样品，向下兼容小样品。

主要功能及特色

电感耦合等离子刻蚀机：刻蚀二氧化硅、氮化硅、氮化铝、铌酸锂、金属铝、Mo及Cr等.

主要附件及配置

主机台、电脑微机、干泵、冷水机等