SQDL（已停用）

投影数字光刻系统

投影数字光刻系统预约送样

联系人

王镜喆

邮箱

wangjzh1@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684633

购买日期

2023/11/15

主要规格和技术参数

激光波长：355nm；最小分辨率：0.5um；正面对准精度：+/- 0.5um；背面对准精度：+/- 2um。

主要功能及特色

无掩膜光刻可以不使用掩模板直接描绘光刻胶图形，其使用基于空间光调制器的数字掩模代替传统光刻的物理掩膜，既省去掩模板的成本，又提高了光刻的灵活性，而且可以对设计图形进行快速修改，非常适合研发环境。

主要附件及配置

通用样品架