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主要规格和技术参数
1 加速电压：0.02---30 KV
2 分辨率：≤0.7 nm@15 KV(二次电子)，≤1.2 nm@1KV（二次电子）
3 放大倍率：12---2,000,000 倍
4 探针电流：最大电流不小于 20 nA
主要功能及特色
扫描电子显微镜主要用于材料科学、金属材料、半导体材料、陶瓷材料、化学材料等领域，可进行材料的微观形貌、组织分析，可对磁性样品和不导电样品进行高分辨成像和分析。
主要附件及配置
1.配置有单样品台、九孔样品台和多目的样品台等，可以满足截面测量的需求。
2 加速电压 0.02 KV---30 KV。
3 配置有五轴马达驱动样品台，倾斜范围-1～70°，连续旋转 360°。