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多靶材溅射仪SPUTTER
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原子层积系统
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薄膜材料制备平台
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皮秒时间分辨荧光光谱仪
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多检测器GPC
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X射线小角散射系统
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氟化氙刻蚀仪 XEF2 ETCHER
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马驰原
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HF干法刻蚀机
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马驰原
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氮化铝集成溅射仪
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张祁莲, 王镜喆, 闫晓密
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684633
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