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俄歇扫描电镜
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张青, 熊麟, 李玉真
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物质学院地下室B103
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20685570
原位扫描电镜皮米压痕仪
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马后逾
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高性能ASIC/SoC 原型验证系统
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李婧玮, 苏文艳
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化合物自动化管理工作站
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谈绮文, 张璐, 李菲, 周方方, 汪玲
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原子力显微镜-纳米红外光谱联用测试系统
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王鑫艳
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物质学院3号楼3-104(西)实验室
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021-20685320
高分辨单色性粉末X射线衍射仪3kW
高分辨单色性粉末X射线衍射仪3kW
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熊麟
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原子力显微镜
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庄晓
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多靶材溅射仪SPUTTER
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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多靶材溅射仪SPUTTER
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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原子层积系统
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马驰原
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海科路99号1号楼材料器件中心-超净室1F
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