1、AFM扫描范围：XY>50微米，Z>6微米。 2、AFM分辨率：XY约0.2纳米，Z约0.1纳米。 3、纳米红外光谱成分分析分辨率：~10纳米。 4、快速红外光谱采集，实时成像速率1Hz。 5、同步形貌成像和纳米力学信号，最快5Hz。

纳米红外光谱-原子力显微镜联用(NanoIR3-FS AFM)测试系统是基于原子力显微镜（AFM）与纳米红外光谱（nanoFTIR）联用的技术，是一种高分辨率成像系统，其主要用于极微细材料的表面形貌成像和成分结构解析。可以实现快速红外光谱采集，最高可以实现分辨率达到10nm尺度的红外光谱分析，通过与AFM技术联用可以同步获得AFM实验数据，实现在AFM图像上任意点采集高分辨率的纳米红外光谱。

1、原子力显微镜-纳米红外光谱联用测试系统：1套。 2、系统控制器和软件： AFM-CEW • 系统包含一台Windows7计算机工作站、配置与仪器相连接的接口和网络接口等附件，可对仪器进行控制以及数据传输。硬盘容量不小于1TB，配光驱、独立显卡、显存2GB，两个21″高对比度彩色平板显示器，用以同时显示多个控制菜单和图像。同时采集和显示 8 通道数据。 3、量子级联激光光源： LS-HS-QCL • 可调脉冲QCL激光器 • 波数范围800-1800cm-1 • 光谱分辨率：<1cm-1； • 提供与nanoIR3控制系统的整合； • 包含激光控制器； • 包含激光器水冷装置； 4、光学偏振模块： AM-nIR-PolC • 提供0°和90°偏振光控制。 5、气浮光学防震平台： VI-3648-M • 提供气浮平台,满足原子力显微镜-纳米红外光谱联用测试系统所需的减震要求,负载能力为200Kg, 需要压缩氮气或者空气。 • 平面度：0.05mm/m2，表面粗糙度小于0.8μm，固有频率；x方向：1.2Hz～2.0Hz，y方向：1.2Hz～2.0Hz，Metric (M6)。