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主要规格和技术参数
极限真空：5*10-8Torr。冷泵抽速1500l/s。Ar气流量：0-100sccm。3英寸磁控溅射靶枪：4支，1-4号位。2英寸靶枪：2支，5和6号位。1、3和5号位强磁靶枪。2、4和6号位普通磁性靶枪。
主要功能及特色
磁性金属材料溅射。目前提供溅射的靶材：Ni，FeGa，B，Cr，Ta。
主要附件及配置
600W射频电源：1台。1000W直流电源：1台。500W直流电源：1台。脉冲直流电源：1套。可以满足共溅射和连续溅射的工艺需求。兼容射频偏压清洗功能，配置独立的偏压电源。基底温度：25-800℃。最大基底尺寸：6寸。