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主要规格和技术参数
极限真空：1*10-7Torr。分子泵抽速790l/s。Ar气流量：0-100sccm。氮气流量：0-20sccm。
主要功能及特色
非磁性金属材料溅射。目前提供溅射的靶材：Ti，Pt，Au，Al，Cu
主要附件及配置
3英寸磁控溅射靶枪：6支。600W射频电源：1台。1000W直流电源：2台。可以满足共溅射和连续溅射的工艺需求。兼容射频偏压清洗功能，配置独立的偏压电源。基底温度：室温。最大基底尺寸：6寸。