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SQDL超净室仪器设备导航

功能说明：

此页面用户可通过浏览“超净室仪器设备位置分布图”，查询设备编号，通过查阅“设备编号表”了解“设备名称”，并点击“设备名称”学习设备参数等信息。

为方便用户查询仪器设备名称和所在位置，结合中心超净室工艺流程的区域布局，对设备进行了编号，每个设备都有唯一的编号。编号由工艺流程号、设备排序号及楼层标识3部分组成。其中：

工艺流程号：1个数，1-6之间，1-光刻区；2-湿法区；3-干法区；4-量测区；5-封装区；6-其他。

设备排序号：2个数，01-20之间，按位置排序。

楼层标识：B代表设备位于地下B1楼，没有则代表设备位于地上1楼。

例如：设备编号“1-03”，代表光刻区在1楼的第3个设备，查表可知为“高速分辨率无掩膜光刻仪MLA150”；设备编号“1-09B”，代表光刻区的在B1楼的第9个设备，查表可知为“电子束曝光机EBL”。

SQDL超净室仪器设备位置分布图（1层）

表1 SQDL超净室仪器设备编号及名称（1层），请点击“设备名称”查阅设备信息
1-01	接触式光刻系统 MA6(MA/BA6)	3-09	磁控溅射沉积系统 Mo-Cu镀膜机
1-02	自动涂胶显影机 Track	3-10	电子束沉积系统非磁性金属镀膜(PVD200)
1-03	高速高分辨率无掩膜光刻仪MLA150	3-11	化学气相沉积系统(PECVD)
1-04	步进式光刻机 Stepper	3-12	化学气相沉积系统(ICPCVD)
1-05	有机清洗通风橱 1层1号匀胶	3-13	反应离子刻蚀系统 RIE
1-06	湿法腐蚀台 1层2号匀胶	3-14	等离子刻蚀系统三五族
1-07	显影通风橱 1层3号显影	3-15	HBR刻蚀机(硅)
1-08	普通化学清洗槽 1层4号显影	3-16	原子层沉积系统 ALD
1-09	HMDS烘箱*	3-17	ICP介质刻蚀机硅基材料
1-10	高温烘箱	3-18	高功率等离子体刻蚀机不含铟的三五族
1-11	真空烘箱	3-19	氟化氙刻蚀仪XEF2 ETCHER
1-12	yamato烘箱	3-20	反应离子刻蚀机(鲁汶ICP)
2-01	1.5M酸碱通风柜	3-21	深硅刻蚀机 DRIE*
2-01	1号Liftoff有机清洗，大样品	3-22	HF干法刻蚀机 uEtch
2-02	普通化学通风柜4	3-23	等离子去胶机 Asher
2-02	2号Liftoff有机清洗，小样品	4-01	3D电子扫描显微镜 SEM
2-03	氮化物清洗槽磷酸	4-02	临界点干燥仪
2-04	湿法腐蚀台通风橱3 HF及BOE专用	4-03	原子力显微镜 AFM
2-05	湿法腐蚀台通风橱2 普通酸刻蚀及清洗通风橱，无超声功能	4-04	椭偏仪IR Wollam(SE-IRVASE) 红外
2-05	湿法腐蚀台通风橱2 普通酸刻蚀及清洗通风橱，无超声功能	4-05	表面轮廓仪 KLA台阶仪
2-06	湿法腐蚀台金属刻蚀及清洗通风橱，含超声功能	4-06	线性扫描轮廓仪
2-06	湿法腐蚀台金属刻蚀及清洗通风橱，含超声功能	4-07	光谱反射膜厚仪Filmmetrics(F50-UV)
2-07	甩干机四六寸晶圆	4-08	显微镜（DM4M M205C）
2-08	甩干机四八寸晶圆	4-09	白光轮廓仪 3D Laser
3-01	快速退火炉 RTA	4-10	椭偏仪 IR-VASE Mark II M-2000UI)
3-02	离子束刻蚀机IBE*	4-11	应力测量仪
3-03	热蒸发（国产Al、In）	4-12	显微镜DM4M 黄光区右
3-04	多源炉电子束蒸发系统金属镀膜	4-13	显微镜黄光区左（M2700M）
3-05	多靶材溅射仪SPUTTER 介质镀膜 PVD3	4-14	高真空离子溅射仪 SEM制样
3-06	多靶材溅射仪SPUTTER 磁性金属镀膜 PVD2	4-15	3D电子扫描显微镜 SEM
3-07	多靶材溅射仪SPUTTER 非磁性金属镀膜 PVD1	5-01	打线机（7476D）
3-08	氮化铝集成溅射仪 AlN cluster	5-02	贴片机

SQDL超净室仪器设备位置分布图（B1层）

表2 SQDL超净室仪器设备编号及名称（B1层），请点击“设备名称”查阅设备信息
1-13B	电子束曝光机全自动EBL	2-11B	晶圆甩干机四六寸晶圆
1-14B	3D电子扫描显微镜半自动EBL	3-24B	低压化学气相沉积系统 LPCVD*
1-15B	普通化学清洗槽显影（左）	5-03B	减薄抛光系统 lapping
1-16B	普通化学清洗槽清洗（中）	5-04B	划片机 Dicing saw
1-17B	普通化学清洗槽匀胶（右）	5-05B	减薄抛光系统抛光机 CMP
2-09B	Research Gets Easier. 0.4.4 LabScout LIMS-CF - 运维支持 - 管理后台

Research Gets Easier.

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