SQDL（已停用）

线性扫描轮廓仪

线性扫描轮廓仪送样

联系人

王旭, 杨津津

邮箱

wangxu@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684719

购买日期

2019/11/21

主要规格和技术参数

台阶高度重复性0.5nm 扫描长度范围55mm

主要功能及特色

测量量子器件的表面形貌、重复性、分辨率高，处理速度快

主要附件及配置

探针、操作系统，样品台、马达