整机采用双工位层叠、积木式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警等全自动工艺处理过程。

（1）工艺腔数量：2个。 （2）转子：配置4寸晶圆转子一个，6寸晶圆转子一个（具体型号见配件）。 （3）工作转速： 0—2800转/min，± 5 RPM。 （4）采用聚四氟管道、阀体，其中，工艺腔体内不少于9个旋流式冲洗喷嘴。

无刷伺服电机： （1）设备使用旋转冲洗甩干机专用无刷伺服电机及控制系统，满足整机对无刷驱动技术的要求，保证设备的稳定、可靠及满足系统对洁净度处理的要求。 （2）运行过程中，无刷电机直接驱动载体做高速旋转运动，载体则直接带动被甩干工件做旋转运动。 机台带静电消除装置，由高压发生器、氮气电离室及氮气控制通道组成，当氮气通过高压发生器的控制区时，氮气在电离室被电离，电离化的氮气充斥整个工艺腔体，以防止形成和产生静电。