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光谱流式细胞分析仪
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氧化物原子层沉积系统
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高分辨质谱
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全自动实时毛细管电泳
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球差矫正透射电子显微镜
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二氟化氙气体刻蚀系统
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全自动玻片扫描仪
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重量法动态蒸汽吸附仪（DVS)
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场发射高分辨扫描电镜
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投影数字光刻系统
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