上海科技大学量子器件中心工艺设备SOP汇总
设备序列及SOP：
2接触式光刻系统MA6
3高速高分辨率无掩膜光刻仪MLA
4扫描电子显微镜SEM
5自动涂胶显影机P8000
6磁控溅射系统PVD1
7电子束蒸发镀膜设备EBEAM
8牛津等离子增强化学气相沉积&电感耦合等离子体化学气相沉积设备(PECVD，ICPCVD)
9等离子刻蚀机RIE
10鲁汶刻蚀机
11氟化氙刻蚀仪(XEF2 ETCHER)
13光谱反射膜厚仪
14台阶仪KLA
15光学显微镜使用规范
16白光轮廓仪3D Laser
17应力测量仪
18 匀胶通风柜（2台整合）
20 1.5M酸碱通风柜（1号Liftoff 有机清洗，大样品）
21等离子去胶机
22 1层 3号 显影通风橱（显影通风橱）
22 1层 4号 显影通风橱（普通化学清洗槽）
23普通化学通风柜 4（2号 Liftoff 有机清洗，小样品）
24 1 湿法腐蚀台（普通酸刻蚀及清洗通风橱，含超声功能）
24 2 湿法腐蚀台通风橱2（普通酸刻蚀及清洗通风橱，无超声功能）
24 3 湿法腐蚀台通风橱3（HF及BOE专用通风橱）
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