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应力测量仪 STRESS TESTER
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20685791
普通化学清洗槽
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光谱反射膜厚仪
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闫晓密
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高真空离子溅射仪
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杨津津
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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白光轮廓仪
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杨津津
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20685721
多靶材溅射仪SPUTTER
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张祁莲, 吴文一, 闫晓密
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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RCA晶圆清洗通风橱
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王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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晶圆清洗刻蚀通风橱
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王镜喆
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椭偏仪
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杨津津
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椭偏仪IR
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