SQDL（已停用）

光谱反射膜厚仪

光谱反射膜厚仪送样

联系人

王旭, 杨津津

邮箱

wangxu@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684719

购买日期

2018/10/17

主要规格和技术参数

1）适合尺寸最大至8寸晶圆表面介质膜厚的光学参数（厚度、折射率）测量 2）测量的厚度范围为5 nm-40 μm的透明介质，准确性可达0.05nm

主要功能及特色

1）配备有更小波长的光源（200-1100 nm）； 2）非接触、不破坏样品地分析多层薄膜厚度、折射率和消光系数； 3）能够做多点面分布扫描测试；

主要附件及配置

膜厚仪，UV光源、电脑