SQDL（已停用）

减薄抛光系统抛光机

减薄抛光系统抛光机预约送样

联系人

吴廷琪, 叶佳

邮箱

yejia@shanghaitech.edu.cn

电话

20684743

购买日期

2019/12/20

主要规格和技术参数

可兼容4英寸及以下半导体样品模块背面抛亮

主要功能及特色

次氯酸钠抛光液实现抛光工艺，微米级抛光

主要附件及配置

主机台、磨头、抛光绒布、玻璃衬片、真空泵等