极限真空：5*10-8Torr。冷泵抽速1500l/s。3英寸磁控溅射靶枪：4支。Ar气流量：0-100sccm；

介质薄膜，金属材料溅射。目前提供溅射的靶材：Nb；

300W射频电源：1台。1000W直流电源：1台。500W直流电源：1台。可以满足共溅射和连续溅射的工艺需求。兼容射频偏压清洗功能，配置独立的偏压电源。基底温度：25-800℃。最大基底尺寸：6寸。