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高分辨单色性粉末X射线衍射仪3kW
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原子力显微镜
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多靶材溅射仪SPUTTER
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多靶材溅射仪SPUTTER
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原子层积系统
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HBR刻蚀机
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皮秒时间分辨荧光光谱仪
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多检测器GPC
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X射线小角散射系统
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氟化氙刻蚀仪 XEF2 ETCHER
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