特气品清单：
序号
名称 Name
成分 Composition
纯度 purity
所用设备 equipment
MSDS
存放位置 Location
备注
1
>99.8% 液态二氧化碳
CO2
3N
临界点干燥仪
(Tousimis/815B, Series C)
CO2 MSDS
泵区
2
超高纯1:10% 硅烷 in 氩气
SiH4 in Ar
5N
PECVD
SiH3 MSDS
泵区
3
超高纯氮气
N2
6N
PECVD
N2 MSDS
动力间106
4
超高纯氨气
NH3
7N
PECVD
NH3 MSDS
泵区
5
超高纯八氟环丁烷
C4F8
5N
PECVD，RIE
C4F8 MSDS
泵区
6
超高纯甲烷
CH4
5.5N
RIE
CH4 MSDS
泵区
7
超高纯六氟化硫
SF6
5N
PECVD，RIE
SF6 MSDS
泵区
8
超高纯氢气
H2
6N
RIE
H2 MSDS
泵区
9
超高纯三氟甲烷
CHF3
5N
RIE
CHF3
泵区
10
超高纯四氟化碳
CF4
5N
RIE
CF4 MSDS
泵区
11
超高纯氩气
Ar
6N
PECVD，RIE，ionmill，UV-2，sputter*3，电子束*3，热处理，ALD*2
Ar MSDS
动力间106
12
超高纯氧气
O2
5.5N
RIE，ionmill，UV-2,热处理
O2 MSDS
动力间106
13
超高纯一氧化二氮（笑气）
N2O
5.5N
PECVD
N2O MSDS
泵区
14
超高纯氦气
He
6N
RTA、He检漏仪、RIE
He MSDS
泵区
15
冷冻液态氮
N2
氦离子显微镜
液氮 MSDS