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原位扫描电镜皮米压痕仪
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马后逾
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物质学院8号楼B102
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高性能ASIC/SoC 原型验证系统
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李婧玮, 苏文艳
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信息学院3号楼307B
电话 :
021-20685417
化合物自动化管理工作站
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李菲
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iHuman研究所iHuman研究所
电话 :
20684404
原子力显微镜-纳米红外光谱联用测试系统
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王鑫艳
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物质学院3号楼3-104(西)实验室
电话 :
021-20685320
高分辨单色性粉末X射线衍射仪3kW
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熊麟
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物质学院8号楼地下一层备用机房B108-3
电话 :
19821218303
原子力显微镜
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联系人 :
庄晓
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20685719
多靶材溅射仪SPUTTER
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联系人 :
张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
20685791
多靶材溅射仪SPUTTER
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联系人 :
张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20685791
原子层积系统
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马驰原
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海科路99号1号楼材料器件中心-超净室1F
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021-20684635
薄膜材料制备平台
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张超
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物质学院7号楼软纳米中心薄膜2区
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021-20685517
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