标操手册SOP
编号 仪器名称 Tool Name (nickname) 厂牌 型号 状态 级别 负责人 采购年度
一、通风橱与湿法清洗设备(Wet Benches and Wet Cleaning Tools)
1-1 显影及去胶通风橱 Developing and PR Strip Wet Bench (resist bench) Wafab-Kinetics 72" Manual Bench/id: Q15494 启用 2 熊荣欣 2017
1-2 1号旋转冲洗甩干机 Spin Rinse Dryer-1 (SRD 1) 中国电科第45研究所 CXS-2150C 启用 1 熊荣欣
2019
1-3 1号超声波清洗机 #1 Ultrasonic Bath Cleaner (ultrasonicater 1) Thermofisher VS-10003 启用 0 熊荣欣
2017
1-4 4号加热板(热浴用) #4 Manual Hot Plate (Hot plate 4) Thermofisher HP88857195 启用 0 熊荣欣 2017
1-5 1号电热鼓风干燥箱(烧杯用) #1 Beaker-Only Blast Air Oven (oven 1) 上海一恒 DHG-9240A 启用 0 熊荣欣
2017
1-6 MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-1 MOS-grade Wet Etching and Clean Bench-1 (MOS clean bench 1) Wafab-Kinetics 72" Manual Bench/id:Q15492 启用 2 张艳 2017
1-7 MOS级Piranha及HF腐蚀清洗通风橱-2 MOS-grade Wet Etching and Clean Bench-2 (MOS clean bench 2) 中国电科第45研究所 SFQ-604SKFS 启用 2 熊荣欣 2018
1-8 2号旋转冲洗甩干机 Spin Rinse Dryer-2 (SRD 2) 中国电科第45研究所 CXS-2150C 启用 1 张艳
2018
1-9 Lift-off 通风橱(Si KOH刻蚀) Lift-off Wet Bench (lift off bench) Wafab-Kinetics 72" Manual Bench/id: Q15495 启用 2 张超 2017
1-10 2号超声波清洗机 #2 Ultrasonic Bath Cleaner (ultrasonicater 2) As One P60 启用 0 张超 2017
1-11 3号旋转冲洗甩干机 Spin Rinse Dryer-3 (SRD 3) 中国电科第45研究所 CXS-2150C 启用 1 张超 2019
1-12 3号电热鼓风干燥箱(烧杯用) #3 Beaker-Only Blast Air Oven (oven 3) 上海一恒 DHG-9240A 启用 0 张超 2017
1-13 1号通用通风橱 General Wet Bench (general bench-1) 展协 - 启用 2 陆盛楠 2017
1-14 3号超声波清洗机 #3 Ultrasonic Bath Cleaner (ultrasonicater 3) 新芝 SB-5200DT 启用 0 陆盛楠 2017
1-15 3号手动式匀胶旋涂仪 #3 Manual Spin Coater (spinner 3) Laurell WS 650 启用 2 陆盛楠 2017
1-16

2通用通风橱(mask KOH刻蚀)

KOH Etch and General Wet Bench (KOH/general bench-2) 展协 - 启用 2 何金金 2017
1-17 5号加热板(热浴用) #5 Manual Hot Plate (Hot plate 5) Thermofisher HP88857195 启用 0 何金金 2017
1-18 4号旋转冲洗甩干机 Spin Rinse Dryer-4 (SRD 4) 奥曼特 DSG05 启用 1 何金金 2017
1-19 PDMS Station PDMS (PDMS) DOW CORNING
启用 1 张艳 2018
1-20 4号电热鼓风干燥箱(PDMS及烧杯用) #4 Beaker-and-PDMS-Only Blast Air Oven (oven 4) 上海一恒 DHG-9240A 启用 0 张艳 2017
二、光刻设备(Lithography Tools)
2-1 HMDS表面处理真空烘箱 HMDS Prime Oven (prime oven) YES 310TA 启用 2 熊荣欣 2017
2-2 双轨式自动甩胶显影机 Auto Coat and Develop Track (track 1track2) C&D P8000 启用 2 熊荣欣 2019
2-3 1号手动式匀胶旋涂仪 #1 Manual Spin Coater (spinner 1) Laurell WS 650 启用 2 张艳 2017
2-4 2号手动式匀胶旋涂仪 #2 Manual Spin Coater (spinner 2) Laurell WS 650 启用 2 张艳 2017
2-5 1号加热板(烤胶) #1 Manual Hot Plate (hot plate 1) Mycro HP 1000-1 启用 0 张艳 2017
2-6 2号加热板(烤胶) #2 Manual Hot Plate (hot plate 2) Mycro NDK-1K 启用 0 张艳 2017
2-7 3号加热板(烤胶) #3 Manual Hot Plate (hot plate 3) Thermofisher HP88857195 启用 0 张艳 2017
2-8 手动紫外光刻机 Manual Mask Aligner (MJB4 aligner) SUSS MJB4 启用 2 熊荣欣 2016
2-9 无掩膜激光直写光刻机 Laser Direct-Write Lithography System (ML3 Aligner) Durham Magneto Optics/Quantum Design Microwriter ML3 启用 2 张艳 2018
三、刻蚀设备(Etching Tools)
3-1 反应离子刻蚀系统 Reactive Ion Etching System (RIE) Plasmatherm/Advanced Vacuum VISION 322 启用 2 张艳 2016
3-2 离子束刻蚀系统 Ion Beam Milling System (ion mill) Intlvac Nanoquest I 启用 2 熊荣欣 2017
3-3 紫外臭氧清洗机 UV-Ozone Cleaner (UV-Ozone) Samco UV-2 启用 2 张艳 2018
3-4 二氟化氙刻蚀系统 Xenon DiFluoride (XeF2) Memsstar ORBIS ALPHA 启用 2 张艳 2020
四、薄膜设备 (Thin Film Tools)
4-1 等离子体增强化学气相沉积系统 Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System(PECVD) Oxford NGP80 PECVD 启用 2 何金金 2016
4-2 原子层沉积系统 Oxide ALD (ALD) Veeco/CNT Savannah S200 启用 2 陆盛楠 2019
4-3 1号磁控溅射薄膜沉积系统 Sputter Deposition System (sputter 1) K.J. Lesker PVD 75 启用 2 张超 2018
4-4 2号磁控溅射薄膜沉积系统 Sputter Deposition Systemsputter 2 ) 沈阳科仪 TRP450 启用 2 何金金 2013
4-5 1号电子束沉积系统 E-beam Deposition System (Ebeam1) K.J. Lesker PVD 75 启用 2 陆盛楠 2019
4-6 2号电子束沉积系统 E-beam Deposition System (e-beam 2) 沈阳科仪 DZS500 启用 2 张超 2013
4-7 快速热处理系统 Rapid Thermal Annealer(rta) Allwin21 AccuThermo AW610 启用 2 张超 2017
4-8 Parylene沉积系统
Parylene Deposition System(Parylene SCS PDS2010 启用 2 何金金 2020
五、封装设备 (Packaging Tools)
5-1 晶圆切割机 Wafer Dicing Saw (disco) Disco DAD323 启用 2 何金金 2017
5-2 临界点干燥仪 Critical Point Dryer (cpd) Tousimis Autosamdri 815B-Series C 启用 2 陆盛楠 2017
5-3 微控楔键合机 Manual Wedge-Wedge Wirebonder (wire bonder) West Bond 7476E 启用 2 张超 2017
六、其他加工设备 (Other Nanofabrication Tools)
6-1 聚合物笔直写系统 Polymer Pen Lithography System (polymer pen) TERA-Print TERA Fab M 启用 2 陆盛楠 2016
6-2 聚焦离子束-氦离子显微镜 Helium Ion Microscope-Focused Ion Beam (him-fib) Zeiss ORION NanoFab 启用 3 高珍 2018
七、量测设备 (Metrology Tools)
7-1 光学显微镜 Manual Optical Microscope (om1) Zeiss Axio Lab.A1 启用 1 高珍 2017
7-2 光学显微镜 Manual Optical Microscope (om2) Zeiss Axio Lab5 启用 1 高珍 2019
7-3 光学显微镜 Manual Optical Microscope (om3) Zeiss Axio Lab5 启用 1 高珍 2019
7-4 6“光学显微镜 6" Manual Optical Microscope (om4) Zeiss Axio Vario 启用 2 高珍 2019
7-5 3D共聚焦激光显微镜 3D Confocal Laser Scanning Microscope (clsm) Zeiss LSM800 启用 2 高珍 2018
7-6 光干涉式膜厚测量系统 Film Thickness Measurement System (nanospec) Toho Technology TohoSpec3100 启用 2 高珍 2017
7-7 椭偏仪 Spectroscopic Ellipsometer (ellipsometer) Sentech SENresearch4.0 启用 2 何金金 2019
7-8 台阶仪 Stylus Surface Profiler (dektak) Bruker Dektak XT 启用 2 陆盛楠 2015
7-9 接触角测量仪 Contact Angle Measurement Instrument (tensiometer) Kino SL200KS 启用 2 张超 2016
7-10 四探针电阻仪 Automatic 4 point probe (4 point probe) 4 Dimensions 280SI 启用 1 陆盛楠 2019
7-11 半导体器件分析仪 Semiconductor Parameter Analyzer (B1500A) Keysight B1500A 启用 1 张超 2017
7-12 6" 手动探针台 6" Manual Probe Station (probe station) Signatone S1160 启用 2 张超 2018
7-13 薄膜应力测试系统 Stress Measurement System (stress meter) Toho Technology FLX2320S 启用 2 何金金 2018
7-14 原子力显微镜 Atomic Force Microscope (afm) Oxford/Asylum Research Cypher S 启用 3 陆盛楠 2017
7-15 双通道电压源表 Source Meter(2636B Keithly 2636B 启用
1 陆盛楠
2019