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气相色谱（FID)
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高精度贴片机
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薄膜材料制备平台-2号磁控溅射薄膜沉积系统
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晶圆电镀系统
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反应离子刻蚀系统
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等离子刻蚀系统
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反应离子刻蚀机
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拉曼光谱仪
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高荣
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spinner 2
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