SQDL（已停用）

六寸晶圆大尺寸光学显微镜

六寸晶圆大尺寸光学显微镜预约送样

联系人

高珍

邮箱

gaozhen@shanghaitech.edu.cn

电话

021-20684649

购买日期

2020/07/17

主要规格和技术参数

分辨率350nm，配备5X-150X倍物镜。

主要功能及特色

表征样品表面形貌，明暗场、微分干涉差、偏光模式成像。全景拼图功能。

主要附件及配置