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等离子刻蚀系统
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吴廷琪
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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反应离子刻蚀机
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拉曼光谱仪
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spinner 2
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基质辅助激光解吸/电离-飞行时间质谱
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刘素红
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磁控溅射薄膜沉积系统
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等温滴定微量热仪
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俄歇扫描电镜
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张青, 熊麟, 李玉真
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原位扫描电镜皮米压痕仪
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高性能ASIC/SoC 原型验证系统
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李婧玮, 苏文艳
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