仪器设备
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湿法腐蚀台
湿法腐蚀台
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联系人 :
彭鹏飞, 张雁冰
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684632
打线机
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刘娟娟
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20685796
磁控溅射沉积系统
磁控溅射沉积系统
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联系人 :
张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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电子束沉积系统
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张祁莲, 闫晓密
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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自动涂胶显影机
自动涂胶显影机
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彭鹏飞, 张雁冰
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20684632
湿法腐蚀台通风橱3
湿法腐蚀台通风橱3
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张祁莲
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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20685791
有机清洗通风橱
有机清洗通风橱
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联系人 :
彭鹏飞, 张雁冰
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
电话 :
021-20684632
晶圆甩干机
晶圆甩干机
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王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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1.5M酸碱通风柜
1.5M酸碱通风柜
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联系人 :
王镜喆
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海科路99号1号楼量子器件中心-无尘室1F
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021-20684633
光学显微镜
光学显微镜
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彭鹏飞
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021-20684632