超临界温度控制范围：-30℃ ~ +60℃。 超临界压力调节范围：0 ~ 2000psi；

临界点干燥仪是用来干燥微纳加工过程中生长加工的样品结构的主要设备，它利用液态二氧化碳在特定温度和压力下，使样品表面在气态与液态之间转换时表面张力为零，从而大大降低了普通干燥过程对样品表面的破坏。

内部过滤系统； 控温系统； 进气及排气系统； 微处理器控制系统等