2025.12.9学院提交申请，由氦三低温插杆及矢量磁体2021100486 3,209,225.95、超高真空插板阀 2019106195 99,425、主动减震装置 2019104081 469,068、干泵-分子泵联合系统 2019104777 73,488.95、复合离子泵 2019102246 71,377.34、真空腔体及传样杆 2019101261 789,114、微弱信号反馈控制器 2018102211 539,787、STM扫描头 2017015656 542,000集成