样品：温度范围1.6K ~ 350K；激光器：177.3nm，80MHz；能量分析器：能量分辨率最低约1meV，角度范围最大±15°；

2025.12.8学院提交申请，由2025100546 极低温高分辨光电子能谱仪-xyz-位移台 76219.69、2025100199 极低温高分辨光电子能谱仪-分子泵组 510443.70、2025100182 极低温高分辨光电子能谱仪-低能电子衍射仪 268959.63、2024104678 极低温高分辨光电子能谱仪-原位样品生长和表征系统 1594500.00、2024102658 极低温高分辨光电子能谱仪-高功率全固态锁模紫外准连续激光器 864693.91、2024102657 电子能量分析器和测量腔体 4609954.77、2024102406 极低温高分辨光电子能谱仪 5714267.00、2024101655 极低温高分辨光电子能谱仪-残余气体分析仪 52828.72、2024101240 极低温高分辨光电子能谱仪-升降支撑架组系统 706000.00、2024100931 极低温高分辨光电子能谱仪-干泵组 358772.43、2023102926 超高真空复合规 29800.00、2023102440 极低温高分辨光电子能谱仪-氩离子刻蚀枪 69531.31、2023102439 极低温高分辨光电子能谱仪-吸附泵组 144540.94、2023102414 极低温高分辨光电子能谱仪-XYZ超高真空位移台 85000.00、2023102413 极低温高分辨光电子能谱仪-真空规组 141989.38、2023102412 极低温高分辨光电子能谱仪-真空腔体 122390.00、2023102411 极低温高分辨光电子能谱仪-离子泵组 102935.70、2023102410 极低温高分辨光电子能谱仪-单轴摇摆杆 63976.77、2023102164 极低温高分辨光电子能谱仪-闸板阀组 364461.22、2023100373 光学平台 27500.00、2021103478 马达镜架 16409.50、2021103477 马达镜架 16409.50、2021102163 旋转位移台 98288.00、2021102143 xy组合台 95790.00集成