二维材料真空电子束镀膜系统
联系人
王美晓
邮箱
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购买日期
2024/10/17
主要规格和技术参数
本底真空度<4E-10torr， 具备至少3个样品储存位。
主要功能及特色
与NanoARPES的中转腔和二维样品原位制备腔真空互联。
主要附件及配置
真空互联设备，离子泵，样品储存车，样品传输杆，样品中转腔，电子束蒸发源及控制器。