异型腔内壁蒸镀磁控溅射靶系统
联系人
李军, 董鹏
邮箱
电话
购买日期
2024/11/24
主要规格和技术参数
内部磁铁采用环状钕铁硼材料的磁环组，提供500 Oe左右的垂直于靶面的磁场；可实现精度0.1 mm的移动，同时实现水冷，为RRR>300 d的高纯铌。
主要功能及特色
实现异型腔内壁蒸镀均匀，高粘附性的超导薄膜
主要附件及配置
仪器说明书