设备占地面积150cm*100cm UV光源：进口LED模块 曝光中心波长：365nm 光源平行性：2º 曝光分辨率：0.8um-1um 曝光能量密度：>35mW/cm²可调 照度不均匀性：≤2.5%(∮150mm范围) 曝光面积：160mm*160mm

主要用于制造小规模集成电路、半导体器件、红外器件、光波导器件、声表器件、微机电系统（MEMS）、微流控等 显微倍数：放大倍率：150倍-720倍可调 双物镜可调距离范围：30mm-120mm

可支持掩模版尺寸： 3″×3″、4″×4″、5″×5″ 各一件 标配承片台 ： 2英寸、3英寸、4英寸 各一件