设备占地面积200cm*150cm 配有 2 台国产数字式 500w 直流电源和 1 台 500w 全自动匹配射频电源国产电源,1 台国产数字式-1000V 直流脉冲偏压电源 衬底样品架可放置的衬底尺寸为：最大直径4英寸晶圆，且可向下兼容；

在4 英寸Si衬底上沉积钛（或其他金属），厚度约200nm，膜厚非均匀性≤±5% 配置永磁靶（可溅射磁性材料)一个，射频溅射靶一个，直流溅射靶一个

冷水机一台、空气压缩机一台