1. 工作模式： 1.1 轻敲模式带有Q-control控制技术(AC mode) 1.2 接触模式(Contact mode) 1.3 相位成像模式(Phase imaging) 1.4 横向力模式(Lateral force Microscopy LFM) 1.5 磁场力显微镜(Magnetic Force Microscopy, MFM) 1.6 压电力显微镜(Piezo Response Force Microscopy, PFM mode) 1.7 矢量压电力显微镜(Vector PFM) 1.8 极化反转谱PFM（Switching Spectroscopy PFM） 1.9 静电力显微镜(Electric Force Microscopy, EFM) 1.10 扫描开尔文显微镜(Kelvin probe force microscopy) 1.11 力曲线模式（Force curve） 1.12 力阵列测量(Force Volume Measurement) 1.13 纳米刻蚀(Nanolithography) 1.14 纳米操纵(Nanomanipulation) 1.15 压电响应刻蚀（PFM litho） 1.16 高次谐波成像模式(Dual AC Mode） 1.17 双频共振追踪 (Dual frequency resonance tracking, DART)。 1.18 双频共振追踪压电力显微镜(DART-PFM) 1.19 MacroBuilder智能编程模式 1.20 GetReal 智能探针校准模式 2. 扫描器： 2.1.扫描器须是X,Y,Z三轴分离的扫描器，X,Y,Z三个驱动轴各有一根压电陶瓷管驱动，三个驱动轴须是严格正交；X,Y方向的扫描范围不低于115μm，Z方向不低于15μm 2.2 扫描器闭环噪音：X,Y轴闭环噪音≤0.6nm（Adev,1Hz到1KHz带宽,Z轴闭环噪音≤0.3nm(Adev,1Hz到1KHz测试带宽). 2.3系统高度噪音(探针接触样品表面)≤60pm（Adev,1Hz到1KHz带宽）； 2.4 系统光学噪音(探针未接触样品表面)≤20pm

* 全数字化控制器: (1) 至少两个全数字双频锁相放大器，工作带宽5MHz。 (2) 一个输出频率在10MHz的双频率频率合成器. 频率范围从直流到最大 2MHz（2mHz步长）。 (3) Cross Point信号交换芯片：一个16 × 16路数字化信号交换芯片 * 操作软件： (1) 操作软件免费使用和升级。 (2) 操作软件源代码开放，用户可直接在系统操作软件上进行二次开发(须提供成功的案例证明)；AFM系统内部的信号图全部开放，支持用户对AFM中的任意信号进行调用 * 压电力显微镜模式：系统本身(无任何外加的锁相设备)即能够在该模式下能够在实现single frequency PFM, DART-PFM模式(双频共振追踪压电力显微镜), Switching spectroscopy PFM测试以及vector PFM技术。 Dual AC Resonance Tracking (DART)-PFM模式中，同时在共振峰的两侧施加两个振动频率以实时的追踪共振频率的变化； * 高性能防震系统：提供高性能的防震系统，保证AFM正常工作 * 样品台：80mm样品台，最高可容纳厚度10mm的样品。