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电子束金属蒸发系统
电子束金属蒸发系统   送样
联系人
张祁莲
邮箱
zhangql@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20685791
购买日期
2022/09/30
主要规格和技术参数
反应腔本底真空：≤2*10-8Torr，配有抽速：3000L/s的低温泵。
主要功能及特色
主要用于沉积各种金属薄膜材料，可蒸发金属：Ti，Pt，Au，GeAu，Ni，Cr
主要附件及配置
坩埚：6个。KL-8电子枪：1个， 电源：5kw。样品尺寸：支持6寸及以下样品。 沉积温度：室温。