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投影数字光刻系统
投影数字光刻系统 预约   送样
联系人
王镜喆
邮箱
wangjzh1@shanghaitech.edu.cn
电话
021-20684633
购买日期
2023/11/15
主要规格和技术参数
激光波长：355nm；最小分辨率：0.5um；正面对准精度：+/- 0.5um；背面对准精度：+/- 2um。
主要功能及特色
无掩膜光刻可以不使用掩模板直接描绘光刻胶图形，其使用基于空间光调制器的数字掩模代替传统光刻的物理掩膜，既省去掩模板的成本，又提高了光刻的灵活性，而且可以对设计图形进行快速修改，非常适合研发环境。
主要附件及配置
通用样品架